CMP 슬러리 회수를 위한 데칸터 원심분리기

원산지:중국

브랜드 이름:Peony

인증:ISO

모델 번호:PDC

최소 주문 수량:1개 세트

가격:USD20000-138000/SET FOB Shanghai

지불 조건:TT,.LC, 웨스턴 유니온

공급능력:달 당 60 세트

제품 세부 정보

강조하다:

칼슘 차아염소산염 마개있는 유리병 separator

,

420mm 마개있는 유리병 separator

,

3300RPM 스크류 데칸터 원심분리기

Application: CMP 슬러리 회수

CMP Stream: 산화물 / 구리 / 텅스텐

Abrasive Type: 실리카/세리아/알루미나

Separation: 고액분리

Operation: 자동 연속

Capacity: 슬러리 상태에 따라 다름

MOC: SS316L / 맞춤형

Control System: PLC + VFD

Pretreatment: 응고/응집 선택 사항

Cleaning System: 자동 세척

Solids Discharge: 마디 없는

Low-Contamination Design: 선택 과목

제품 설명

CMP 슬러리 회수용 디캔터 원심분리기

설명

CMP 슬러리 회수용 디캔터 원심분리기는 연속 연마재 고형물 회수, 조절된 슬러리 농축, 필터 공급 준비 및 1차 액체 정화를 위해 설계되었습니다.

이는 실리카, 알루미나 또는 세리아 연마재는 물론 구리 및 텅스텐 CMP 폐수 흐름을 포함하는 화학 기계적 평탄화 공정에 적합합니다. CMP 폐수에는 나노 규모의 연마 입자, 용해된 금속, 산화제, 착화제, 계면활성제 및 기타 공정 화학 물질이 포함될 수 있습니다.

일반적인 응용 분야

산화물 CMP 슬러리 처리
실리카 연마재 회수
세리아 슬러리 고형물 회수
알루미나 기반 CMP 폐수 처리
구리 CMP 슬러지 농축
텅스텐 CMP 슬러리 처리
응고 후 고형물 분리
필터 프레스 공급 준비
반도체 폐수 전처리
공정수 정화
금속 함유 슬러지 농도
사용된 연마 슬러리의 양 감소

CMP 관련 프로세스 과제

초미립자

나노스케일 CMP 연마재는 부유된 상태로 남아 있을 수 있습니다. 원심분리 전에 pH 조정, 응고 또는 응집이 필요할 수 있습니다.

다양한 슬러리 화학

산화물, 구리, 텅스텐 및 세리아 CMP 스트림에는 다양한 연마재와 화학 물질이 포함되어 있습니다. 별도의 수집은 교차 오염을 줄이는 데 도움이 됩니다.

용해된 금속

디캔터는 부유 물질을 제거하지만 용해된 금속은 제거하지 않습니다. 추가적인 침전, 이온 교환 또는 막 처리가 필요할 수 있습니다.

오염 통제

회수된 고형물에는 금속, 패드 잔해 및 혼합된 연마재가 포함될 수 있습니다. 귀중한 재료 회수를 위해 오염도가 낮은 재료를 선택할 수 있습니다.

슬러리 재사용

회수된 슬러리는 일반적으로 직접 재사용할 수 없습니다. 입자 크기, 화학적 성질, 오염 및 연마 성능을 먼저 확인해야 합니다.

CMP 슬러리 회수 솔루션

Peony는 조절된 CMP 슬러리 농축, 연마재 회수, 슬러지 감소 및 다운스트림 처리 준비를 위한 지속적인 솔루션을 제공합니다.

CMP 도구 배수 / 사용된 슬러리
→ 분리수거
→ 균등화 탱크
→ pH 조정
→ 선택적 응고/응집
→ 디캔터 원심분리기
→ 두꺼워진 CMP 고형물
→ 필터프레스 / 건조기 / 금속회수 / 폐기

명확한 액체
→ 중간탱크
→ 정밀여과 / 한외여과 / 이온교환 / RO
→ 공정수 재사용 또는 배출

더 높은 물 재사용 품질이 필요한 경우 추가 멤브레인 또는 연마 처리가 필요할 수 있습니다.

모란은 제공할 수 있습니다

CMP 슬러리 테스트 및 원심분리기 선택
별도의 슬러리 수집 시스템
균등화 탱크 및 공급 펌프
pH 조정 및 화학물질 투여
조정 가능한 보울 및 차동 속도
연못 깊이 및 토크 제어
오염이 적고 내마모성이 뛰어난 부품
자동 세척 및 청소
정화된 액체 수집 시스템
PLC 및 VFD 제어
필터 프레스 또는 연마 처리 통합

디캔터 원심분리기의 작동 원리

1. 조절된 CMP 슬러리 공급

조절된 CMP 슬러리는 제어된 공급 파이프를 통해 회전 보울로 들어갑니다.

교반식 균압 탱크는 안정적인 공급 농도를 유지하고 침전된 고형물이 탱크에 축적되는 것을 방지합니다.

2. 원심침전

고속 보울 회전은 응집된 연마 입자, 침전된 금속 및 부유 고형물을 액상에서 분리합니다.

밀도가 높은 고체는 바깥쪽으로 이동하여 그릇 벽에 층을 형성하는 반면, 액체는 그릇 중앙에 더 가깝게 유지됩니다.

3. 연속 고체 이송

내부 스크류 컨베이어는 제어된 차동 속도로 회전합니다.

추가 농축 및 배출을 위해 침전된 CMP 고형물을 원뿔형 끝쪽으로 지속적으로 이송합니다.

4. 명확한 액체 배출

분리된 액체는 액체 출구를 통해 떠납니다.

이는 막 여과, 이온 교환, 금속 제거 처리, 물 재생 또는 추가 폐수 처리로 전환될 수 있습니다.

5. 농축된 CMP 고형물 배출

농축된 CMP 고형물이 연속적으로 배출됩니다.

고형물은 필터 프레스, 건조기, 금속 회수 공정, 연마재 회수 공정, 슬러지 용기 또는 통제된 폐기로 보내질 수 있습니다.

CMP 슬러리 회수를 위한 데칸터 원심분리기 1

기술적인 매개변수

모델	직경(mm)	길이(mm)	길이 대 직경 비율	지포스	최대 고형물 배출량(m³/h)	체중(kg)	차원 (LWH) (mm)
PDC-10	250	1000	4	4080	0.4	1000	24108001080
PDC-12	4200	1350	4	3500	0.6	1200	26108001080
PDC-12	4200	1350	4.5	3180	1.2	1800	34958401180
PDC-18	4000	1600	4.5	3180	1.2	3200	349710201385
PDC-18	450	2150	4	2500	2	3800	444710801385
PDC-20	400	2250	4.5	2500	3.5	4000	458011401470
PDC-21	530	2280	4.3	2500	5	5000	492411701540
PDC-26	655	2800	4.3	2270	8	7000	430019001350

주요 장점

연속 CMP 슬러지 농축

디캔터는 조절된 CMP 고형물을 지속적으로 농축하고 필터 프레스 또는 슬러지 처리 시스템으로 보내지는 양을 줄입니다.

하류 여과 부하 감소

1차 분리는 막 여과 또는 연마 처리 전에 응집된 연마 입자와 침전된 고형물을 제거합니다.

귀중한 스트림의 별도 복구

산화물, 구리, 텅스텐 및 세리아 CMP 스트림을 별도로 수집하여 금속 또는 연마재 회수를 지원할 수 있습니다.

안정적인 자동운전

보울 속도, 차동 속도, 연못 깊이, 공급 속도 및 컨베이어 토크는 변화하는 슬러리 조건에 따라 조정될 수 있습니다.

저오염 구성

내부 재료 및 보호 구성 요소는 연마재 유형, 금속 오염 제한 및 다운스트림 복구 요구 사항에 따라 선택할 수 있습니다.

선택에는 어떤 데이터가 필요합니까?

다음을 제공하십시오:

CMP 스트림 및 연마 유형
입자 크기 및 고형물 농도
슬러리 밀도, 점도 및 유속
온도, pH 및 전도도
용해된 금속 및 화학 첨가제
현재 응고제 또는 응집제
회수 목표 및 정화액 요건
물 재사용 및 하류 처리 공정

FAQ

디캔터가 나노 규모의 CMP 연마 입자를 직접 회수할 수 있습니까?

항상 그런 것은 아닙니다. 나노규모의 실리카, 세리아 및 알루미나 입자는 콜로이드 안정성을 유지할 수 있습니다. 응고 또는 응집은 일반적으로 원심 분리 전에 평가됩니다.

회수된 CMP 고체를 연마 도구로 직접 반환할 수 있습니까?

일반적으로 추가 정제 및 테스트 없이는 그렇지 않습니다. 입자 크기, 응집, 화학적 조성, 금속 오염, 연마 성능 및 웨이퍼 결함 위험을 먼저 확인해야 합니다.

산화물 및 금속 CMP 폐수를 원심분리기 하나로 처리할 수 있나요?

기술적으로는 가능하지만 교차 오염, 금속 회수 또는 연마재 재사용이 중요한 경우에는 별도의 수집이 권장됩니다.

정화된 액체를 반도체 생산에 재사용할 수 있나요?

추가 처리 후 재사용이 가능합니다. 지정된 수질 기준을 충족하려면 막 여과, 이온 교환, RO 또는 연마 처리가 필요할 수 있습니다.

디캔터가 필터 프레스나 멤브레인 시스템을 대체합니까?

아니요. 디캔터는 주로 지속적인 1차 분리와 슬러리 농축을 제공합니다. 케이크 수분을 낮추려면 여전히 필터 프레스가 필요할 수 있으며, 액체 투명도를 높이려면 멤브레인이 필요할 수 있습니다.

파트너십을 위해 Peony에 문의하세요

Peony는 반도체 제조업체, 웨이퍼 제조 공장, CMP 슬러리 공급업체, 전자 폐수 계약업체, 금속 회수 회사, 물 재생 통합업체 및 산업 분리 파트너와의 유통업체 및 대리점 협력을 환영합니다.

우리는 CMP 슬러리 테스트, 원심 분리기 선택, 화학적 조절 설계, 저오염 구성, 금속 및 연마재 회수 통합, 물 재생 연결, 설치 지침, 시운전, 예비 부품 및 애프터 서비스를 통해 파트너를 지원합니다.

연마 공정, 연마제 유형, 입자 크기, 고형분 농도, 용존 금속 함량, 필요한 용량, 회수 목표, 정화된 액체 표준 및 다운스트림 처리 배열을 포함한 CMP 슬러리 정보를 보내주십시오. 당사 엔지니어링 팀은 CMP 슬러리 회수 공정에 적합한 디캔터 원심분리기 솔루션을 추천해 드립니다.

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