English
Français
Deutsch
Italiano
Русский
Español
Português
Nederlandse
Ελληνικά
日本語
한국
العربية
Türkçe
Indonesia
ไทย
বাংলা
فارسی
Polski
Máy tách lọc canxi Hypochlorite
,Máy tách gạn 420mm
,Máy ly tâm gạn trục vít 3300RPM
Máy ly tâm Decanter để thu hồi bùn CMP được thiết kế để thu hồi chất rắn mài mòn liên tục, làm đặc bùn đã điều hòa, chuẩn bị cấp liệu cho bộ lọc và làm rõ chất lỏng sơ cấp.
Nó phù hợp cho các quá trình làm phẳng cơ học hóa học liên quan đến chất mài mòn silica, alumina hoặc ceria, cũng như dòng nước thải CMP đồng và vonfram. Nước thải CMP có thể chứa các hạt mài mòn có kích thước nano, kim loại hòa tan, chất oxy hóa, chất tạo phức, chất hoạt động bề mặt và các hóa chất xử lý khác.
- Xử lý bùn oxit CMP
- Thu hồi mài mòn silic
- Thu hồi chất rắn bùn Ceria
- Xử lý nước thải CMP dựa trên Alumina
- Làm đặc bùn đồng CMP
- Xử lý bùn vonfram CMP
- Tách chất rắn sau đông tụ
- Chuẩn bị cấp liệu cho máy ép lọc
- Tiền xử lý nước thải bán dẫn
- Làm rõ nước xử lý
- Nồng độ bùn chứa kim loại
- Giảm khối lượng bùn đánh bóng đã qua sử dụng
Hạt siêu mịn
Chất mài mòn CMP có kích thước nano có thể vẫn bị đình chỉ. Có thể cần điều chỉnh pH, đông tụ hoặc tạo bông trước khi ly tâm.
Các hóa chất bùn khác nhau
Các dòng CMP oxit, đồng, vonfram và ceria chứa các chất mài mòn và hóa chất khác nhau. Việc thu gom riêng biệt giúp giảm lây nhiễm chéo.
Kim loại hòa tan
Bình decanter loại bỏ chất rắn lơ lửng nhưng không loại bỏ kim loại hòa tan. Có thể cần phải kết tủa, trao đổi ion hoặc xử lý màng bổ sung.
Kiểm soát ô nhiễm
Chất rắn thu hồi có thể chứa kim loại, mảnh vụn và chất mài mòn hỗn hợp. Vật liệu ít ô nhiễm có thể được lựa chọn để thu hồi vật liệu có giá trị.
Tái sử dụng bùn
Bùn thu hồi thường không thể được tái sử dụng trực tiếp. Kích thước hạt, hóa học, ô nhiễm và hiệu suất đánh bóng trước tiên phải được xác minh.
Giải pháp phục hồi bùn CMP
Peony cung cấp các giải pháp liên tục để làm đặc bùn CMP đã được điều hòa, thu hồi mài mòn, giảm bùn và chuẩn bị xử lý tiếp theo.
CMP Tool Drain / Bùn đã qua sử dụng
→ Bộ sưu tập riêng
→ Bể cân bằng
→ Điều chỉnh pH
→ Đông tụ / keo tụ tùy chọn
→ Máy ly tâm decanter
→ Chất rắn CMP đặc
→ Máy ép lọc / Máy sấy / Thu hồi kim loại / Xử lý
Chất lỏng trong
→ Bể trung gian
→ Vi lọc / Siêu lọc / Trao đổi ion / RO
→ Tái sử dụng hoặc xả nước trong quy trình
Có thể cần phải xử lý màng hoặc đánh bóng thêm khi cần chất lượng tái sử dụng nước cao hơn.
Hoa mẫu đơn có thể cung cấp
- Kiểm tra bùn CMP và lựa chọn máy ly tâm
- Hệ thống thu gom bùn riêng biệt
- Bể cân bằng và bơm cấp liệu
- Điều chỉnh pH và định lượng hóa chất
- Bát có thể điều chỉnh và tốc độ vi sai
- Kiểm soát độ sâu ao và mô-men xoắn
- Các thành phần ít nhiễm bẩn và chống mài mòn
- Tự động xả và làm sạch
- Hệ thống thu gom chất lỏng trong
- Điều khiển PLC và VFD
- Máy ép lọc hoặc tích hợp xử lý đánh bóng
Máy ly tâm Decanter hoạt động như thế nào
1. Cho ăn bùn CMP có điều kiện
Bùn CMP đã được điều hòa đi vào bát quay thông qua ống cấp liệu được kiểm soát.
Bể cân bằng có khuấy trộn duy trì nồng độ thức ăn ổn định và ngăn chặn chất rắn lắng tích tụ trong bể.
2. Lắng ly tâm
Vòng quay bát tốc độ cao tách các hạt mài mòn tổng hợp, kim loại kết tủa và chất rắn lơ lửng khỏi pha lỏng.
Các chất rắn đặc hơn di chuyển ra ngoài và tạo thành một lớp dựa vào thành bát, trong khi chất lỏng vẫn ở gần tâm bát hơn.
3. Vận chuyển chất rắn liên tục
Băng tải trục vít bên trong quay với tốc độ vi sai được kiểm soát.
Nó liên tục vận chuyển chất rắn CMP đã lắng về phía đầu hình nón để làm đặc và xả thêm.
4. Xả chất lỏng trong
Chất lỏng tách ra đi qua ổ cắm chất lỏng.
Nó có thể được chuyển sang lọc màng, trao đổi ion, xử lý loại bỏ kim loại, thu hồi nước hoặc xử lý nước thải tiếp theo.
5. Xả chất rắn CMP đặc
Chất rắn CMP đậm đặc được thải ra liên tục.
Các chất rắn có thể được đưa đến máy ép lọc, máy sấy, quy trình thu hồi kim loại, quy trình thu hồi mài mòn, thùng chứa bùn hoặc xử lý có kiểm soát.
| Người mẫu | Đường kính (mm) | Chiều dài (mm) | Tỷ lệ chiều dài trên đường kính | lực G | Xả rắn tối đa (m³/h) | Trọng lượng (kg) | Kích thước (L*W*H) (mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| PDC-10 | 250 | 1000 | 4 | 4080 | 0,4 | 1000 | 2410*800*1080 |
| PDC-12 | 4200 | 1350 | 4 | 3500 | 0,6 | 1200 | 2610*800*1080 |
| PDC-12 | 4200 | 1350 | 4,5 | 3180 | 1.2 | 1800 | 3495*840*1180 |
| PDC-18 | 4000 | 1600 | 4,5 | 3180 | 1.2 | 3200 | 3497*1020*1385 |
| PDC-18 | 450 | 2150 | 4 | 2500 | 2 | 3800 | 4447*1080*1385 |
| PDC-20 | 400 | 2250 | 4,5 | 2500 | 3,5 | 4000 | 4580*1140*1470 |
| PDC-21 | 530 | 2280 | 4.3 | 2500 | 5 | 5000 | 4924*1170*1540 |
| PDC-26 | 655 | 2800 | 4.3 | 2270 | 8 | 7000 | 4300*1900*1350 |
Ưu điểm chính
Làm đặc bùn CMP liên tục
Bộ decanter liên tục cô đặc chất rắn CMP đã được điều hòa và giảm thể tích gửi đến máy ép lọc hoặc hệ thống xử lý bùn.
Giảm tải lọc ở hạ lưu
Tách sơ cấp loại bỏ các hạt mài mòn tổng hợp và chất rắn kết tủa trước khi lọc màng hoặc xử lý đánh bóng.
Phục hồi riêng biệt các luồng có giá trị
Các dòng CMP oxit, đồng, vonfram và ceria có thể được thu thập riêng biệt để hỗ trợ phục hồi kim loại hoặc mài mòn.
Hoạt động tự động ổn định
Tốc độ bát, tốc độ chênh lệch, độ sâu ao, tốc độ cấp liệu và mô-men xoắn băng tải có thể được điều chỉnh theo các điều kiện bùn thay đổi.
Cấu hình ít ô nhiễm
Vật liệu bên trong và các thành phần bảo vệ có thể được lựa chọn theo loại mài mòn, giới hạn ô nhiễm kim loại và yêu cầu phục hồi sau này.
Vui lòng cung cấp:
- Dòng CMP và loại mài mòn
- Kích thước hạt và nồng độ chất rắn
- Mật độ bùn, độ nhớt và tốc độ dòng chảy
- Nhiệt độ, pH và độ dẫn điện
- Kim loại hòa tan và phụ gia hóa học
- Chất keo tụ hoặc chất keo tụ hiện tại
- Mục tiêu phục hồi và yêu cầu chất lỏng được làm rõ
- Quy trình tái sử dụng nước và xử lý hạ lưu
Máy decanter có thể thu hồi trực tiếp các hạt mài mòn CMP có kích thước nano không?
Không phải lúc nào cũng vậy. Các hạt silica, ceria và alumina có kích thước nano có thể vẫn ổn định về mặt keo. Sự đông tụ hoặc keo tụ thường được đánh giá trước khi tách ly tâm.
Chất rắn CMP thu hồi có thể được trả lại trực tiếp vào dụng cụ đánh bóng không?
Thông thường không phải không có sự thanh lọc và thử nghiệm thêm. Kích thước hạt, sự kết tụ, thành phần hóa học, ô nhiễm kim loại, hiệu suất đánh bóng và nguy cơ khuyết tật wafer trước tiên phải được xác nhận.
Một máy ly tâm có thể xử lý nước thải CMP oxit và kim loại không?
Về mặt kỹ thuật có thể thực hiện được, nhưng nên thu gom riêng khi việc lây nhiễm chéo, thu hồi kim loại hoặc tái sử dụng chất mài mòn là quan trọng.
Chất lỏng làm rõ có thể được tái sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn?
Nó có thể được tái sử dụng sau khi điều trị thêm. Có thể cần phải lọc màng, trao đổi ion, RO hoặc xử lý đánh bóng để đáp ứng tiêu chuẩn chất lượng nước quy định.
Máy decanter có thay thế máy ép lọc hoặc hệ thống màng không?
Không. Bình decanter chủ yếu cung cấp khả năng phân tách sơ cấp liên tục và làm đặc bùn. Có thể vẫn cần máy ép lọc để có độ ẩm bánh thấp hơn, trong khi có thể cần màng để có độ trong của chất lỏng cao hơn.
Peony hoan nghênh sự hợp tác của nhà phân phối và đại lý với các nhà sản xuất chất bán dẫn, nhà máy chế tạo tấm bán dẫn, nhà cung cấp bùn CMP, nhà thầu xử lý nước thải điện tử, công ty thu hồi kim loại, nhà tích hợp thu hồi nước và đối tác phân tách công nghiệp.
Chúng tôi hỗ trợ các đối tác trong việc thử nghiệm bùn CMP, lựa chọn máy ly tâm, thiết kế điều hòa hóa học, cấu hình ít ô nhiễm, tích hợp thu hồi kim loại và mài mòn, kết nối cải tạo nước, hướng dẫn lắp đặt, vận hành, phụ tùng thay thế và dịch vụ hậu mãi.
Gửi cho chúng tôi thông tin về bùn CMP của bạn, bao gồm quy trình đánh bóng, loại mài mòn, kích thước hạt, nồng độ chất rắn, hàm lượng kim loại hòa tan, công suất yêu cầu, mục tiêu thu hồi, tiêu chuẩn chất lỏng trong và cách bố trí xử lý tiếp theo. Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi sẽ đề xuất giải pháp máy ly tâm decanter phù hợp cho quy trình thu hồi bùn CMP của bạn.
Máy ly tâm xử lý nước thải
Máy ly tâm chiết xuất dầu cọ
Máy ly tâm công nghiệp hóa chất tốt
