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Separador do filtro do Hypochlorite de cálcio
,separador do filtro de 420mm
,Centrifugador do filtro do parafuso 3300RPM
A Centrífuga Decanter para Recuperação de Polpa CMP foi projetada para recuperação contínua de sólidos abrasivos, espessamento de polpa condicionada, preparação de alimentação por filtro e clarificação primária de líquidos.
É adequado para processos de planarização químico-mecânica envolvendo abrasivos de sílica, alumina ou céria, bem como fluxos de águas residuais CMP de cobre e tungstênio. As águas residuais da CMP podem conter partículas abrasivas em nanoescala, metais dissolvidos, oxidantes, agentes complexantes, surfactantes e outros produtos químicos de processo.
- Tratamento de pasta de óxido CMP
- Recuperação abrasiva de sílica
- Recuperação de sólidos de pasta de Ceria
- Tratamento de águas residuais CMP à base de alumina
- Espessamento de lodo de cobre CMP
- Tratamento de pasta de tungstênio CMP
- Separação de sólidos pós-coagulação
- Preparação da alimentação do filtro prensa
- Pré-tratamento de águas residuais de semicondutores
- Esclarecimento de água de processo
- Concentração de lodo contendo metal
- Redução do volume de pasta de polimento gasta
Partículas Ultrafinas
Os abrasivos CMP em nanoescala podem permanecer suspensos. Ajuste de pH, coagulação ou floculação podem ser necessários antes da centrifugação.
Diferentes produtos químicos de pasta
Os fluxos CMP de óxido, cobre, tungstênio e céria contêm diferentes abrasivos e produtos químicos. A coleta seletiva ajuda a reduzir a contaminação cruzada.
Metais Dissolvidos
O decantador remove sólidos suspensos, mas não metais dissolvidos. Pode ser necessária precipitação adicional, troca iônica ou tratamento de membrana.
Controle de Contaminação
Os sólidos recuperados podem conter metais, restos de pastilhas e abrasivos mistos. Materiais de baixa contaminação podem ser selecionados para recuperação de materiais valiosos.
Reutilização de chorume
O chorume recuperado normalmente não pode ser reutilizado diretamente. O tamanho das partículas, a química, a contaminação e o desempenho do polimento devem primeiro ser verificados.
Solução de recuperação de lama CMP
A Peony fornece soluções contínuas para espessamento de lamas CMP condicionadas, recuperação de abrasivos, redução de lamas e preparação de tratamento a jusante.
Dreno de ferramenta CMP / pasta gasta
→ Coleta Separada
→ Tanque de Equalização
→ Ajuste de pH
→ Coagulação/Floculação Opcional
→ Centrífuga Decanter
→ Sólidos CMP espessados
→ Filtro Prensa / Secador / Recuperação / Descarte de Metal
Líquido Esclarecido
→ Tanque Intermediário
→ Microfiltração / Ultrafiltração / Troca Iônica / RO
→ Reutilização ou Descarga de Água de Processo
Tratamento adicional de membrana ou polimento pode ser necessário quando for necessária maior qualidade de reutilização de água.
Peônia pode fornecer
- Teste de pasta CMP e seleção de centrífuga
- Sistema de coleta separada de chorume
- Tanque de equalização e bomba de alimentação
- Ajuste de pH e dosagem de produtos químicos
- Tigela ajustável e velocidade diferencial
- Profundidade da lagoa e controle de torque
- Componentes de baixa contaminação e resistentes ao desgaste
- Descarga e limpeza automática
- Sistema de coleta de líquidos clarificados
- Controle PLC e VFD
- Filtro-prensa ou integração de tratamento de polimento
Como funciona a centrífuga Decanter
1. Alimentação de chorume CMP condicionada
A pasta CMP condicionada entra no recipiente giratório através de um tubo de alimentação controlado.
Um tanque de equalização agitado mantém uma concentração de alimentação estável e evita o acúmulo de sólidos sedimentados no tanque.
2. Sedimentação Centrífuga
A rotação do recipiente em alta velocidade separa partículas abrasivas agregadas, metais precipitados e sólidos suspensos da fase líquida.
Os sólidos mais densos movem-se para fora e formam uma camada contra a parede do recipiente, enquanto o líquido permanece mais próximo do centro do recipiente.
3. Transporte Contínuo de Sólidos
O transportador helicoidal interno gira a uma velocidade diferencial controlada.
Ele transporta continuamente os sólidos CMP sedimentados em direção à extremidade cônica para maior espessamento e descarga.
4. Descarga de Líquido Esclarecido
O líquido separado sai pela saída de líquido.
Ele pode ser transferido para filtração por membrana, troca iônica, tratamento de remoção de metal, recuperação de água ou tratamento adicional de águas residuais.
5. Descarga de sólidos CMP espessados
Os sólidos concentrados de CMP são descarregados continuamente.
Os sólidos podem ser enviados para filtro-prensa, secador, processo de recuperação de metal, processo de recuperação de abrasivos, recipiente de lodo ou descarte controlado.
| Modelo | Diâmetro (mm) | Comprimento (mm) | Taxa comprimento-diâmetro | Força G | Descarga sólida máxima (m³/h) | Peso (kg) | Dimensão (C*L*A) (mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| PDC-10 | 250 | 1000 | 4 | 4080 | 0,4 | 1000 | 2410*800*1080 |
| PDC-12 | 4200 | 1350 | 4 | 3500 | 0,6 | 1200 | 2610*800*1080 |
| PDC-12 | 4200 | 1350 | 4,5 | 3180 | 1.2 | 1800 | 3495*840*1180 |
| PDC-18 | 4000 | 1600 | 4,5 | 3180 | 1.2 | 3200 | 3497*1020*1385 |
| PDC-18 | 450 | 2150 | 4 | 2500 | 2 | 3800 | 4447*1080*1385 |
| PDC-20 | 400 | 2250 | 4,5 | 2500 | 3.5 | 4000 | 4580*1140*1470 |
| PDC-21 | 530 | 2280 | 4.3 | 2500 | 5 | 5.000 | 4924*1170*1540 |
| PDC-26 | 655 | 2800 | 4.3 | 2270 | 8 | 7.000 | 4300*1900*1350 |
Principais vantagens
Espessamento Contínuo de Lodo CMP
O decantador concentra continuamente os sólidos CMP condicionados e reduz o volume enviado para filtros-prensa ou sistemas de tratamento de lodo.
Carga de filtragem a jusante reduzida
A separação primária remove partículas abrasivas agregadas e sólidos precipitados antes da filtração por membrana ou do tratamento de polimento.
Recuperação separada de fluxos valiosos
Fluxos CMP de óxido, cobre, tungstênio e céria podem ser coletados separadamente para apoiar a recuperação de metal ou abrasivo.
Operação automática estável
A velocidade do recipiente, a velocidade diferencial, a profundidade do tanque, a taxa de alimentação e o torque do transportador podem ser ajustados de acordo com as mudanças nas condições da pasta.
Configuração de baixa contaminação
Os materiais internos e os componentes de proteção podem ser selecionados de acordo com o tipo de abrasivo, limites de contaminação metálica e requisitos de recuperação posterior.
Forneça:
- Fluxo CMP e tipo abrasivo
- Tamanho de partícula e concentração de sólidos
- Densidade, viscosidade e vazão da pasta
- Temperatura, pH e condutividade
- Metais dissolvidos e aditivos químicos
- Coagulante ou floculante atual
- Meta de recuperação e exigência de líquido clarificado
- Processo de reutilização de água e tratamento a jusante
O decantador pode recuperar diretamente partículas abrasivas CMP em nanoescala?
Nem sempre. Partículas de sílica, céria e alumina em nanoescala podem permanecer coloidalmente estáveis. A coagulação ou floculação é comumente avaliada antes da separação centrífuga.
Os sólidos de CMP recuperados podem ser devolvidos diretamente à ferramenta de polimento?
Normalmente não sem purificação e testes adicionais. O tamanho das partículas, a aglomeração, a composição química, a contaminação metálica, o desempenho do polimento e o risco de defeito do wafer devem primeiro ser confirmados.
Uma centrífuga pode tratar águas residuais CMP de óxido e metal?
Tecnicamente possível, mas a coleta separada é recomendada quando a contaminação cruzada, a recuperação de metal ou a reutilização de abrasivos for importante.
O líquido clarificado pode ser reutilizado na produção de semicondutores?
Pode ser reutilizado após tratamento adicional. Filtração por membrana, troca iônica, RO ou tratamento de polimento podem ser necessários para atender ao padrão de qualidade da água especificado.
O decantador substitui um filtro-prensa ou sistema de membrana?
Não. O decantador fornece principalmente separação primária contínua e espessamento da pasta. Um filtro-prensa ainda pode ser necessário para reduzir a umidade do bolo, enquanto membranas podem ser necessárias para maior clareza do líquido.
A Peony dá as boas-vindas à cooperação de distribuidores e agentes com fabricantes de semicondutores, fábricas de wafer, fornecedores de pasta CMP, empreiteiros de águas residuais eletrônicas, empresas de recuperação de metais, integradores de recuperação de água e parceiros de separação industrial.
Apoiamos os parceiros com testes de polpa CMP, seleção de centrífugas, projeto de condicionamento químico, configuração de baixa contaminação, integração de recuperação de metais e abrasivos, conexão de recuperação de água, orientação de instalação, comissionamento, peças de reposição e serviço pós-venda.
Envie-nos suas informações sobre pasta CMP, incluindo processo de polimento, tipo de abrasivo, tamanho de partícula, concentração de sólidos, conteúdo de metal dissolvido, capacidade necessária, meta de recuperação, padrão de líquido clarificado e arranjo de tratamento a jusante. Nossa equipe de engenharia recomendará uma solução de centrífuga decantadora adequada para o seu processo de recuperação de polpa CMP.
Centrifugadora de depuração de águas residuais
Centrífuga de decantador de extracção de óleo de palma
Centrifugadora de decantador da indústria química fina
