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Separatore del decantatore dell'ipoclorito di calcio
,separatore del decantatore di 420mm
,Centrifuga del decantatore della vite 3300RPM
La centrifuga decanter per il recupero dei liquami CMP è progettata per il recupero continuo di solidi abrasivi, l'ispessimento dei liquami condizionati, la preparazione dell'alimentazione del filtro e la chiarificazione primaria dei liquidi.
È adatto per processi di planarizzazione chimico-meccanica che coinvolgono abrasivi di silice, allumina o ceria, nonché flussi di acque reflue CMP di rame e tungsteno. Le acque reflue CMP possono contenere particelle abrasive su scala nanometrica, metalli disciolti, ossidanti, agenti complessanti, tensioattivi e altri prodotti chimici di processo.
- Trattamento dei liquami con ossido CMP
- Recupero abrasivo della silice
- Recupero dei solidi dei liquami di Ceria
- Trattamento delle acque reflue CMP a base di allumina
- Ispessimento fanghi CMP rame
- Trattamento dei liquami di tungsteno CMP
- Separazione dei solidi post-coagulazione
- Preparazione dell'alimentazione della filtropressa
- Pretrattamento delle acque reflue dei semiconduttori
- Chiarificazione delle acque di processo
- Concentrazione di fanghi contenenti metalli
- Riduzione del volume dei liquami di lucidatura esauriti
Particelle ultrafini
Gli abrasivi CMP su scala nanometrica possono rimanere sospesi. Prima della centrifugazione potrebbero essere necessari l'aggiustamento del pH, la coagulazione o la flocculazione.
Diverse chimiche dei liquami
I flussi CMP di ossido, rame, tungsteno e ceria contengono diversi abrasivi e prodotti chimici. La raccolta differenziata aiuta a ridurre la contaminazione incrociata.
Metalli disciolti
Il decanter rimuove i solidi sospesi ma non i metalli disciolti. Potrebbero essere necessari ulteriori precipitazioni, scambio ionico o trattamento con membrana.
Controllo della contaminazione
I solidi recuperati possono contenere metalli, detriti di cuscinetti e abrasivi misti. È possibile selezionare materiali a bassa contaminazione per il recupero di materiale prezioso.
Riutilizzo dei liquami
Normalmente il liquame recuperato non può essere riutilizzato direttamente. È necessario innanzitutto verificare la dimensione delle particelle, la chimica, la contaminazione e le prestazioni di lucidatura.
Soluzione CMP per il recupero dei liquami
Peony fornisce soluzioni continue per l'ispessimento dei liquami CMP condizionati, il recupero degli abrasivi, la riduzione dei fanghi e la preparazione del trattamento a valle.
Scarico utensile CMP/Liquame esaurito
→ Raccolta Differenziata
→ Serbatoio di equalizzazione
→ Regolazione del pH
→ Coagulazione/flocculazione opzionale
→ Centrifuga decantatrice
→ Solidi CMP addensati
→ Filtropressa/Essiccatore/Recupero metalli/Smaltimento
Liquido chiarificato
→ Serbatoio intermedio
→ Microfiltrazione/Ultrafiltrazione/Scambio ionico/RO
→ Riutilizzo o scarico dell'acqua di processo
Potrebbe essere necessario un ulteriore trattamento con membrana o lucidatura quando è necessaria una maggiore qualità del riutilizzo dell’acqua.
La peonia può fornire
- Test dei liquami CMP e selezione della centrifuga
- Sistema separato di raccolta dei liquami
- Serbatoio di equalizzazione e pompa di alimentazione
- Regolazione del pH e dosaggio dei prodotti chimici
- Vasca regolabile e velocità differenziale
- Controllo della profondità e della coppia dello stagno
- Componenti a bassa contaminazione e resistenti all'usura
- Lavaggio e pulizia automatici
- Sistema di raccolta liquidi chiarificati
- Controllo PLC e VFD
- Filtropressa o integrazione trattamento lucidatura
Come funziona la centrifuga decanter
1. Alimentazione del liquame CMP condizionato
Il liquame CMP condizionato entra nella vasca rotante attraverso un tubo di alimentazione controllato.
Un serbatoio di equalizzazione agitato mantiene una concentrazione di alimentazione stabile e impedisce l'accumulo di solidi depositati nel serbatoio.
2. Sedimentazione centrifuga
La rotazione ad alta velocità della vasca separa le particelle abrasive aggregate, i metalli precipitati e i solidi sospesi dalla fase liquida.
I solidi più densi si spostano verso l'esterno e formano uno strato contro la parete della vasca, mentre il liquido rimane più vicino al centro della vasca.
3. Trasporto solido continuo
Il trasportatore a coclea interno ruota a velocità differenziale controllata.
Trasporta continuamente i solidi CMP sedimentati verso l'estremità conica per un ulteriore addensamento e scarico.
4. Scarico liquido chiarificato
Il liquido separato fuoriesce attraverso l'uscita del liquido.
Può essere trasferito alla filtrazione su membrana, allo scambio ionico, al trattamento di rimozione dei metalli, al recupero dell'acqua o a un ulteriore trattamento delle acque reflue.
5. Scarico dei solidi CMP addensati
I solidi concentrati CMP vengono scaricati continuamente.
I solidi possono essere inviati a un filtropressa, un essiccatore, un processo di recupero dei metalli, un processo di recupero degli abrasivi, un contenitore per i fanghi o uno smaltimento controllato.
| Modello | Diametro (mm) | Lunghezza (mm) | Rapporto lunghezza/diametro | Forza G | Portata solida massima (m³/h) | Peso (kg) | Dimensioni (L*P*A) (mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| PDC-10 | 250 | 1000 | 4 | 4080 | 0.4 | 1000 | 2410*800*1080 |
| PDC-12 | 4200 | 1350 | 4 | 3500 | 0,6 | 1200 | 2610*800*1080 |
| PDC-12 | 4200 | 1350 | 4.5 | 3180 | 1.2 | 1800 | 3495*840*1180 |
| PDC-18 | 4000 | 1600 | 4.5 | 3180 | 1.2 | 3200 | 3497*1020*1385 |
| PDC-18 | 450 | 2150 | 4 | 2500 | 2 | 3800 | 4447*1080*1385 |
| PDC-20 | 400 | 2250 | 4.5 | 2500 | 3.5 | 4000 | 4580*1140*1470 |
| PDC-21 | 530 | 2280 | 4.3 | 2500 | 5 | 5000 | 4924*1170*1540 |
| PDC-26 | 655 | 2800 | 4.3 | 2270 | 8 | 7000 | 4300*1900*1350 |
Principali vantaggi
Ispessimento continuo dei fanghi CMP
Il decanter concentra continuamente i solidi CMP condizionati e riduce il volume inviato alle filtropresse o ai sistemi di trattamento dei fanghi.
Carico di filtrazione a valle ridotto
La separazione primaria rimuove le particelle abrasive aggregate e i solidi precipitati prima della filtrazione su membrana o del trattamento di lucidatura.
Recupero separato di flussi preziosi
I flussi CMP di ossido, rame, tungsteno e ceria possono essere raccolti separatamente per supportare il recupero di metalli o abrasivi.
Funzionamento automatico stabile
La velocità della vasca, la velocità differenziale, la profondità della vasca, la velocità di alimentazione e la coppia del trasportatore possono essere regolate in base alle mutevoli condizioni del liquame.
Configurazione a bassa contaminazione
I materiali interni e i componenti di protezione possono essere selezionati in base al tipo di abrasivo, ai limiti di contaminazione dei metalli e ai requisiti di recupero a valle.
Si prega di fornire:
- Flusso CMP e tipo abrasivo
- Granulometria e concentrazione dei solidi
- Densità, viscosità e portata del liquame
- Temperatura, pH e conducibilità
- Metalli disciolti e additivi chimici
- Attuale coagulante o flocculante
- Obiettivo di recupero e requisito di liquido chiarificato
- Processo di riutilizzo dell'acqua e trattamento a valle
Il decanter può recuperare direttamente le particelle abrasive CMP su scala nanometrica?
Non sempre. Le particelle di silice, ceria e allumina su scala nanometrica possono rimanere colloidalmente stabili. La coagulazione o la flocculazione viene comunemente valutata prima della separazione centrifuga.
I solidi CMP recuperati possono essere restituiti direttamente allo strumento di lucidatura?
Normalmente non senza ulteriore purificazione e test. È necessario prima verificare la dimensione delle particelle, l'agglomerazione, la composizione chimica, la contaminazione dei metalli, le prestazioni di lucidatura e il rischio di difetti del wafer.
Una centrifuga può trattare le acque reflue CMP di ossidi e metalli?
Tecnicamente possibile, ma si consiglia la raccolta differenziata quando è importante la contaminazione incrociata, il recupero dei metalli o il riutilizzo degli abrasivi.
Il liquido chiarificato può essere riutilizzato nella produzione di semiconduttori?
Può essere riutilizzato dopo un ulteriore trattamento. Per soddisfare lo standard di qualità dell'acqua specificato, potrebbero essere necessari la filtrazione su membrana, lo scambio ionico, l'osmosi inversa o il trattamento di lucidatura.
Il decanter sostituisce un filtropressa o un sistema a membrana?
No. Il decanter fornisce principalmente la separazione primaria continua e l'ispessimento del liquame. Potrebbe essere comunque necessaria una filtropressa per una minore umidità della torta, mentre potrebbero essere necessarie membrane per una maggiore limpidezza del liquido.
Peony accoglie con favore la cooperazione di distributori e agenti con produttori di semiconduttori, impianti di fabbricazione di wafer, fornitori di liquami CMP, appaltatori di acque reflue elettroniche, aziende di recupero metalli, integratori di recupero dell'acqua e partner di separazione industriale.
Supportiamo i partner con test sui liquami CMP, selezione di centrifughe, progettazione di condizionamento chimico, configurazione a bassa contaminazione, integrazione di recupero di metalli e abrasivi, connessione per il recupero dell'acqua, guida all'installazione, messa in servizio, pezzi di ricambio e servizio post-vendita.
Inviateci le informazioni sui liquami CMP, incluso il processo di lucidatura, il tipo di abrasivo, la dimensione delle particelle, la concentrazione di solidi, il contenuto di metalli disciolti, la capacità richiesta, l'obiettivo di recupero, lo standard del liquido chiarificato e la disposizione del trattamento a valle. Il nostro team di ingegneri consiglierà una soluzione di centrifuga decanter adatta per il processo di recupero dei liquami CMP.
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