Centrifugeuse à décanter pour la récupération de lisier CMP

La centrifugeuse décanteuse pour la récupération des boues CMP est conçue pour la récupération continue des solides abrasifs, l'épaississement des boues conditionnées, la préparation de l'alimentation par filtre et la clarification primaire des liquides.

Il convient aux processus de planarisation chimico-mécanique impliquant des abrasifs de silice, d'alumine ou de cérium, ainsi que des flux d'eaux usées CMP en cuivre et en tungstène. Les eaux usées CMP peuvent contenir des particules abrasives nanométriques, des métaux dissous, des oxydants, des agents complexants, des tensioactifs et d'autres produits chimiques de traitement.

• Traitement des boues d'oxyde CMP
• Récupération d'abrasifs de silice
• Récupération des solides de boue de Ceria
• Traitement des eaux usées CMP à base d'alumine
• Épaississement des boues de cuivre CMP
• Traitement des boues de tungstène CMP
• Séparation des solides post-coagulation
• Préparation de l'alimentation du filtre-presse
• Prétraitement des eaux usées des semi-conducteurs
• Clarification des eaux de process
• Concentration des boues contenant des métaux
• Réduction du volume de la boue de polissage usée

Particules ultrafines

Les abrasifs CMP à l'échelle nanométrique peuvent rester en suspension. Un ajustement du pH, une coagulation ou une floculation peuvent être nécessaires avant la centrifugation.

Différentes compositions chimiques des boues

Les flux CMP d'oxyde, de cuivre, de tungstène et d'oxyde de cérium contiennent différents abrasifs et produits chimiques. La collecte séparée contribue à réduire la contamination croisée.

Métaux dissous

Le décanteur élimine les matières en suspension mais pas les métaux dissous. Une précipitation supplémentaire, un échange d'ions ou un traitement membranaire peuvent être nécessaires.

Contrôle des contaminations

Les solides récupérés peuvent contenir des métaux, des débris de tampons et des abrasifs mixtes. Des matériaux peu contaminés peuvent être sélectionnés pour une récupération de matériaux précieux.

Réutilisation des boues

Le lisier récupéré ne peut normalement pas être réutilisé directement. La taille des particules, la chimie, la contamination et les performances de polissage doivent d’abord être vérifiées.

Peony fournit des solutions continues pour l'épaississement des boues CMP conditionnées, la récupération des abrasifs, la réduction des boues et la préparation du traitement en aval.

Vidange d'outil CMP / Boue usée
→ Collecte séparée
→ Réservoir d'égalisation
→ Ajustement du pH
→ Coagulation/Floculation en option
→ Décanteur Centrifuge
→ Solides CMP épaissis
→ Filtre presse / Sécheur / Récupération de métaux / Élimination

Liquide clarifié
→ Réservoir intermédiaire
→ Microfiltration / Ultrafiltration / Échange d'ions / RO
→ Réutilisation ou rejet des eaux de traitement

Un traitement de membrane ou de polissage supplémentaire peut être nécessaire lorsqu'une meilleure qualité de réutilisation de l'eau est nécessaire.

La pivoine peut fournir

• Tests de boues CMP et sélection de centrifugeuses
• Système de collecte séparé des lisiers
• Réservoir d'égalisation et pompe d'alimentation
• Ajustement du pH et dosage de produits chimiques
• Bol réglable et vitesse différentielle
• Contrôle de la profondeur et du couple du bassin
• Composants à faible contamination et résistants à l'usure
• Rinçage et nettoyage automatiques
• Système de collecte de liquide clarifié
• Contrôle PLC et VFD
• Intégration filtre-presse ou polissage-traitement

Épaississement continu des boues CMP

Le décanteur concentre en continu les solides CMP conditionnés et réduit le volume envoyé aux filtres-presses ou aux systèmes de traitement des boues.

Charge de filtration réduite en aval

La séparation primaire élimine les particules abrasives agrégées et les solides précipités avant la filtration sur membrane ou le traitement de polissage.

Récupération séparée des flux de valeur

Les flux CMP d'oxyde, de cuivre, de tungstène et d'oxyde de cérium peuvent être collectés séparément pour prendre en charge la récupération des métaux ou des abrasifs.

Fonctionnement automatique stable

La vitesse du bol, la vitesse différentielle, la profondeur du bassin, le débit d'alimentation et le couple du convoyeur peuvent être ajustés en fonction des conditions changeantes du lisier.

Configuration à faible contamination

Les matériaux internes et les composants de protection peuvent être sélectionnés en fonction du type d'abrasif, des limites de contamination métallique et des exigences de récupération en aval.

Veuillez fournir :

• Flux CMP et type d'abrasif
• Taille des particules et concentration en solides
• Densité, viscosité et débit de la boue
• Température, pH et conductivité
• Métaux dissous et additifs chimiques
• Coagulant ou floculant actuel
• Objectif de récupération et besoin en liquide clarifié
• Processus de réutilisation de l’eau et de traitement en aval

Peony accueille favorablement la coopération de distributeurs et d'agents avec des fabricants de semi-conducteurs, des usines de fabrication de plaquettes, des fournisseurs de boues CMP, des entrepreneurs en traitement des eaux usées électroniques, des entreprises de récupération de métaux, des intégrateurs de récupération d'eau et des partenaires de séparation industrielle.

Nous aidons nos partenaires dans les tests de boues CMP, la sélection des centrifugeuses, la conception du conditionnement chimique, la configuration à faible contamination, l'intégration de la récupération des métaux et des abrasifs, le raccordement à la récupération de l'eau, les conseils d'installation, la mise en service, les pièces de rechange et le service après-vente.

Envoyez-nous vos informations sur la boue CMP, y compris le processus de polissage, le type d'abrasif, la taille des particules, la concentration en solides, la teneur en métaux dissous, la capacité requise, l'objectif de récupération, la norme de liquide clarifié et les modalités de traitement en aval. Notre équipe d'ingénieurs vous recommandera une solution de décanteur centrifuge adaptée à votre processus de récupération des boues CMP.