English
Français
Italiano
Русский
Español
Português
Nederlandse
Ελληνικά
日本語
한국
العربية
Türkçe
Indonesia
Tiếng Việt
ไทย
বাংলা
فارسی
Polski
Kalziumhypochlorit-Dekantiergefäßtrennzeichen
,420mm Dekantiergefäßtrennzeichen
,Dekantiergefäßzentrifuge der Schraube 3300RPM
Die Dekanterzentrifuge für die CMP-Schlammrückgewinnung ist für die kontinuierliche Rückgewinnung von abrasiven Feststoffen, die konditionierte Schlammeindickung, die Filterzuführungsvorbereitung und die primäre Flüssigkeitsklärung konzipiert.
Es eignet sich für chemisch-mechanische Planarisierungsprozesse mit Siliziumoxid-, Aluminiumoxid- oder Ceroxid-Schleifmitteln sowie CMP-Abwasserströmen aus Kupfer und Wolfram. CMP-Abwasser kann nanoskalige Schleifpartikel, gelöste Metalle, Oxidationsmittel, Komplexbildner, Tenside und andere Prozesschemikalien enthalten.
- Behandlung von Oxid-CMP-Aufschlämmungen
- Rückgewinnung von Silica-Schleifmitteln
- Feststoffrückgewinnung aus Ceroxidschlamm
- CMP-Abwasserbehandlung auf Aluminiumoxidbasis
- Kupfer-CMP-Schlammeindickung
- Behandlung von Wolfram-CMP-Schlamm
- Feststoffabscheidung nach der Koagulation
- Vorbereitung der Filterpressenbeschickung
- Vorbehandlung von Halbleiterabwasser
- Klärung von Prozesswasser
- Konzentration von metallhaltigem Schlamm
- Reduzierung des verbrauchten Poliermittelvolumens
Ultrafeine Partikel
Nanoskalige CMP-Strahlmittel können in der Schwebe bleiben. Vor der Zentrifugation kann eine pH-Wert-Anpassung, Koagulation oder Flockung erforderlich sein.
Verschiedene Schlammchemien
CMP-Ströme aus Oxid, Kupfer, Wolfram und Ceroxid enthalten verschiedene Schleifmittel und Chemikalien. Die getrennte Sammlung trägt dazu bei, Kreuzkontaminationen zu reduzieren.
Gelöste Metalle
Der Dekanter entfernt suspendierte Feststoffe, jedoch keine gelösten Metalle. Möglicherweise sind zusätzliche Fällung, Ionenaustausch oder Membranbehandlung erforderlich.
Kontaminationskontrolle
Zurückgewonnene Feststoffe können Metalle, Polsterrückstände und gemischte Schleifmittel enthalten. Für die Wertstoffrückgewinnung können schadstoffarme Materialien ausgewählt werden.
Wiederverwendung von Gülle
Zurückgewonnene Gülle kann in der Regel nicht direkt wiederverwendet werden. Partikelgröße, Chemie, Verunreinigung und Polierleistung müssen zunächst überprüft werden.
CMP-Lösung zur Schlammrückgewinnung
Peony bietet kontinuierliche Lösungen für die Eindickung von konditioniertem CMP-Schlamm, die Rückgewinnung von Strahlmittel, die Schlammreduzierung und die Vorbereitung der nachgeschalteten Behandlung.
CMP-Werkzeugablauf/verbrauchte Gülle
→ Getrennte Sammlung
→ Ausgleichsbehälter
→ pH-Einstellung
→ Optionale Koagulation / Flockung
→ Dekanterzentrifuge
→ Verdickte CMP-Feststoffe
→ Filterpresse / Trockner / Metallrückgewinnung / Entsorgung
Geklärte Flüssigkeit
→ Zwischentank
→ Mikrofiltration / Ultrafiltration / Ionenaustausch / RO
→ Wiederverwendung oder Ableitung von Prozesswasser
Wenn eine höhere Wasserwiederverwendungsqualität erforderlich ist, kann eine weitere Membran- oder Polierbehandlung erforderlich sein.
Pfingstrose kann bieten
- CMP-Aufschlämmungstests und Zentrifugenauswahl
- Separates Güllesammelsystem
- Ausgleichsbehälter und Förderpumpe
- pH-Einstellung und Chemikaliendosierung
- Einstellbare Schüssel- und Differenzgeschwindigkeit
- Teichtiefen- und Drehmomentkontrolle
- Kontaminationsarme und verschleißfeste Komponenten
- Automatische Spülung und Reinigung
- Sammelsystem für geklärte Flüssigkeit
- SPS- und VFD-Steuerung
- Integration von Filterpresse oder Polierbehandlung
So funktioniert die Dekanterzentrifuge
1. Konditionierte CMP-Aufschlämmungszuführung
Konditionierte CMP-Aufschlämmung gelangt über ein kontrolliertes Zufuhrrohr in die rotierende Trommel.
Ein gerührter Ausgleichstank sorgt für eine stabile Futterkonzentration und verhindert, dass sich abgesetzte Feststoffe im Tank ansammeln.
2. Zentrifugale Sedimentation
Durch die Hochgeschwindigkeitsrotation der Trommel werden aggregierte Schleifpartikel, ausgefällte Metalle und suspendierte Feststoffe aus der flüssigen Phase getrennt.
Die dichteren Feststoffe bewegen sich nach außen und bilden eine Schicht an der Schüsselwand, während die Flüssigkeit näher an der Schüsselmitte bleibt.
3. Kontinuierliche Feststoffförderung
Die innenliegende Förderschnecke dreht sich mit kontrollierter Differenzgeschwindigkeit.
Es transportiert die abgesetzten CMP-Feststoffe kontinuierlich zum konischen Ende, wo sie weiter eingedickt und ausgetragen werden.
4. Austritt geklärter Flüssigkeit
Die abgeschiedene Flüssigkeit tritt durch den Flüssigkeitsauslass aus.
Es kann auf Membranfiltration, Ionenaustausch, Metallentfernungsbehandlung, Wasserrückgewinnung oder weitere Abwasserbehandlung übertragen werden.
5. Austrag verdickter CMP-Feststoffe
Konzentrierte CMP-Feststoffe werden kontinuierlich ausgetragen.
Die Feststoffe können einer Filterpresse, einem Trockner, einem Metallrückgewinnungsprozess, einem Schleifmittelrückgewinnungsprozess, einem Schlammbehälter oder einer kontrollierten Entsorgung zugeführt werden.
| Modell | Durchmesser (mm) | Länge (mm) | Verhältnis von Länge zu Durchmesser | G-Kraft | Max. Feststoffaustrag (m³/h) | Gewicht (kg) | Abmessungen (L*B*H) (mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| PDC-10 | 250 | 1000 | 4 | 4080 | 0,4 | 1000 | 2410*800*1080 |
| PDC-12 | 4200 | 1350 | 4 | 3500 | 0,6 | 1200 | 2610*800*1080 |
| PDC-12 | 4200 | 1350 | 4.5 | 3180 | 1.2 | 1800 | 3495*840*1180 |
| PDC-18 | 4000 | 1600 | 4.5 | 3180 | 1.2 | 3200 | 3497*1020*1385 |
| PDC-18 | 450 | 2150 | 4 | 2500 | 2 | 3800 | 4447*1080*1385 |
| PDC-20 | 400 | 2250 | 4.5 | 2500 | 3.5 | 4000 | 4580*1140*1470 |
| PDC-21 | 530 | 2280 | 4.3 | 2500 | 5 | 5000 | 4924*1170*1540 |
| PDC-26 | 655 | 2800 | 4.3 | 2270 | 8 | 7000 | 4300*1900*1350 |
Hauptvorteile
Kontinuierliche CMP-Schlammeindickung
Der Dekanter konzentriert konditionierte CMP-Feststoffe kontinuierlich und reduziert das Volumen, das an Filterpressen oder Schlammbehandlungssysteme weitergeleitet wird.
Reduzierte nachgeschaltete Filtrationslast
Bei der Primärtrennung werden aggregierte Schleifpartikel und ausgefällte Feststoffe vor der Membranfiltration oder der Polierbehandlung entfernt.
Separate Wiederherstellung wertvoller Streams
Oxid-, Kupfer-, Wolfram- und Ceroxid-CMP-Ströme können separat gesammelt werden, um die Metall- oder Schleifmittelrückgewinnung zu unterstützen.
Stabiler automatischer Betrieb
Schüsselgeschwindigkeit, Differenzgeschwindigkeit, Teichtiefe, Zufuhrgeschwindigkeit und Förderdrehmoment können an sich ändernde Güllebedingungen angepasst werden.
Kontaminationsarme Konfiguration
Interne Materialien und Schutzkomponenten können je nach Schleifmitteltyp, Metallverunreinigungsgrenzen und nachgeschalteten Rückgewinnungsanforderungen ausgewählt werden.
Bitte geben Sie Folgendes an:
- CMP-Strahl und Schleifmitteltyp
- Partikelgröße und Feststoffkonzentration
- Dichte, Viskosität und Durchflussrate der Aufschlämmung
- Temperatur, pH-Wert und Leitfähigkeit
- Gelöste Metalle und chemische Zusätze
- Aktuelles Gerinnungs- oder Flockungsmittel
- Rückgewinnungsziel und Bedarf an geklärter Flüssigkeit
- Wasserwiederverwendung und nachgeschalteter Aufbereitungsprozess
Kann der Dekanter nanoskalige CMP-Schleifpartikel direkt zurückgewinnen?
Nicht immer. Nanoskalige Siliziumdioxid-, Ceroxid- und Aluminiumoxidpartikel können kolloidal stabil bleiben. Die Koagulation oder Flockung wird üblicherweise vor der Zentrifugentrennung beurteilt.
Können zurückgewonnene CMP-Feststoffe direkt in das Polierwerkzeug zurückgeführt werden?
Normalerweise nicht ohne weitere Reinigung und Prüfung. Partikelgröße, Agglomeration, chemische Zusammensetzung, Metallverunreinigung, Polierleistung und Wafer-Defektrisiko müssen zunächst bestätigt werden.
Kann eine Zentrifuge Oxid- und Metall-CMP-Abwasser behandeln?
Technisch möglich, aber eine getrennte Sammlung wird empfohlen, wenn Kreuzkontamination, Metallrückgewinnung oder Wiederverwendung von Schleifmitteln wichtig sind.
Kann geklärte Flüssigkeit in der Halbleiterproduktion wiederverwendet werden?
Es kann nach weiterer Behandlung wiederverwendet werden. Um den angegebenen Wasserqualitätsstandard zu erfüllen, können Membranfiltration, Ionenaustausch, Umkehrosmose oder Polierbehandlung erforderlich sein.
Ersetzt der Dekanter eine Filterpresse oder Membrananlage?
Nein. Der Dekanter dient hauptsächlich der kontinuierlichen Primärtrennung und Eindickung der Gülle. Für eine geringere Kuchenfeuchtigkeit kann weiterhin eine Filterpresse erforderlich sein, während für eine höhere Flüssigkeitsklarheit möglicherweise Membranen erforderlich sind.
Peony begrüßt die Zusammenarbeit von Händlern und Vertretern mit Halbleiterherstellern, Wafer-Fertigungsbetrieben, CMP-Aufschlämmungslieferanten, Elektronikabwasserunternehmen, Metallrückgewinnungsunternehmen, Wasseraufbereitungsintegratoren und Partnern für industrielle Trennung.
Wir unterstützen Partner bei CMP-Schlammtests, Zentrifugenauswahl, chemischem Konditionierungsdesign, kontaminationsarmer Konfiguration, Integration von Metall- und Schleifmittelrückgewinnung, Wasserrückgewinnungsanschluss, Installationsanleitung, Inbetriebnahme, Ersatzteilen und Kundendienst.
Senden Sie uns Ihre CMP-Aufschlämmungsinformationen, einschließlich Polierprozess, Schleifmitteltyp, Partikelgröße, Feststoffkonzentration, Gehalt an gelöstem Metall, erforderliche Kapazität, Rückgewinnungsziel, Standard für geklärte Flüssigkeit und nachgeschaltete Behandlungsanordnung. Unser Technikteam empfiehlt Ihnen eine geeignete Dekanter-Zentrifugenlösung für Ihren CMP-Aufschlämmungsrückgewinnungsprozess.
Abwasserbehandlung Dekanter Zentrifuge
Zentrifuge für die Extraktion von Palmöl
Zentrifuge für die feine chemische Industrie
